北方华创“晶舟及半导体工艺设备”专利公布
天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“晶舟及半导体工艺设备”专利公布,申请公布日为2024年10月29日,申请公布号为CN118866781A。
本发明提供一种晶舟及半导体工艺设备,晶舟包括用于承载晶片的多个舟片,多个舟片平行且等间距设置,多个舟片分为多个片区,每个片区均包括多个舟片,不同片区的舟片相互绝缘,每个片区均具有与射频调节组件电连接的连接孔,不同片区的舟片能够通过不同的射频调节部件与射频源电连接,相邻的舟片电连接的电极极性相反。本发明提供的晶舟及半导体工艺设备,能够提高同一次工艺的多个晶片的镀膜厚度均匀性。